知道十九世纪末，sf6即使对于化学家来说也还是一种陌生的化合物。人们在自然界中未发现它的存在。

1900年法国Moisson和Lebeau首次用元素硫和氟气直接反应合成出sf6气体并对其物理化学性质进行了初步研究。发现sf6是一种可以与氯气和其他惰性气体相比拟的化学上极稳定的物质，而且具有优异的电气绝缘能力。

本世纪20年代以后，随着科学技术的发展，sf6气体日益引起人们的兴趣和关注，并对其进行了大量的科学实验研究工作。

1937年法国首先将sf6应用于高压绝缘电气设备，1951年美国Westing-House 公司获得sf6断路器的生产专利。西德在此期间也开始了该领域的研究工作，并于1964年推出第一台220KV SF6断路器。进入六十年代，sf6电器绝缘设备的优越性已为世人所公认，各司相继研制开发出多种类型和登记的sf6气体绝缘(GIS)设备。仅1971年至1976年世界生产的gis设备就增长近了10倍

以sf6为介质的电气有断路器，高压开关，电压互感器，电流互感器，避雷器，全封闭组合电气，变压器，充气电缆等几乎无所不报，电压登记已突破1000KV，至今其发展势头不衰。

我国60年代开始研制sf6电气设备，各种等级型号的国产和进口设备陆续投入运行。进入50年代机械电力部门已经将sf6电气设备作为电网装备更新换代的主要目标。可见sf6电气设备在我国必将得到日益广泛的应用，具有广阔的发展前景。

此外，sf6气体在高能物理领域也有重要应用，例如我国通过国家级验收的大型串列加速器，端电压13兆伏一次充入的sf6量为23吨。在铸造冶金行业，sf6作为新型的熔炼保护气氛业已普遍应用。至于sf6早已在气象，环境部门（作为示踪）以及在医学方面（人工气胸）的应用则更不待言。