现已公认sf6除因其比重大（约为空气的5倍），可能在下部空间积聚引起缺氧窒息外，其纯气是无毒无害的。但是在生产过程中或者在高能因子例如高温、高能粒子的作用下，则会分解产生若干有毒有害、甚至剧毒、强腐蚀性物质，而且体系中的某些共存物质例如、水分、空气、电极材料、设备材料等，均会导致上述过程的复杂化，致使分解产物的数量和种类明显增加，其危害自然也显著加大。

Sf6气体杂志的危害主要表现在某些酸性物质特别是HF,SO2等可引起设备材质的腐蚀；某些杂质特别是水分的存在，在一定条件下可能导致电器性能劣化，甚至造成严重设备事故。例如美国VEP公司500KV系统中sf6断路器曾因水分增加造成绝缘闪络，使断路器在1966年的三个月时间内发生五次事故；sf6中存在的注入sf4、sof2、sf2、so2f2、HF等均为毒性和腐蚀性极强的化合物，对人体危害极大，S2F10则属剧毒物质，其空气中最高容许浓度为0.025ppm。我国也曾发生过因上述物质引起的恶性人身事故。此外还应该指出，我国科学工作者今年来发现在sf6气体产品中经常还有S2F10O,有时其含量甚至达数百ppm，尽管目前对其有毒有害尚未能确认。但值得引起注意。

有鉴于此，对sf6气体施行严格的质量监督与安全管理是确保设备可靠运行和人身健康安全的重要保证。为此国际电工委员会（IEC）于1971和1074年颁布了sf6气体质量标准和对sf6新气和经电弧作用后之气体的标准分析方法。吴国于1982年5月公布了《六氟化硫气体技术条件》，此外国外许多sf6气体重要生产厂家均制定了各自的质量标准，以此作为市场竞争的重要依托。

为了监督检测sf6中的杂质组成和含量，必须建立起准确可靠的分析检测方法和技术，此乃是实现sf6气体质量控制的技术基础和前提。在该领域国外自70年代以来有若干文献发表。背景劳动保护科学研究所自1978年以来进行了sf6气体质量分析检测技术的综合研究和开发工作，并编辑了该领域的重要文献资料。

Sf6气体使用安全保证的另一重要环节是建立，健全系统的气体质量管理体制。它包括各类条例，标准，规程的制定实施，各级质量检验机构的建立，各级负责人和实验操作人员的技术培训等内容。只要能紧紧抓住技术和管理这两个基本环节，sf6气体的安全使用和电气设备的安全运行是可以得到可靠保证的。